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重生之奋斗在香江-第41部分
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众人谁也没有说话，一时间办公室里非常的安静，凌世哲心里郁闷，这叫什么事，不出钱，那香港学院还怎么建立起来，我的芯片工厂还怎么开。
良久以后，凌世哲说道：“如果要我出钱，我能得到什么？”
dr。看着凌世哲说道：“凌少，港督说了，如果你出钱并维持学院的运转，你就是计算机学院的股东。另外，如果你能在香港建立芯片工厂的话，他承诺可以给你最大的税收优惠，13％的税收，只要你来香港建立芯片工厂，你看上了那块地，他就批给你那块地，不要担心那块地是不是工业用地，他会搞定。”
哇靠，决心下得大嘛，这么多优惠，13％的税收，现在香港的企业税率普遍都是23％，金融业和地产业要高些有28％，13％的税收相当优渥了。后世大陆对合资企业的税收优惠也不过15％的税率，但这里是香港啊，可没有后世大陆那么多的摊派，绝不会有其他乱七八糟的政府公费摊派支出。
“港督戴麟趾好大的魄力，我看中那块地，他就给我那块地，白给吗？”
“哦，这不可能，港府卖地给你，不进行拍卖，直接按市价卖你，卖地的钱港府用来安置失去土地的人们，期限是30年，只能用来建芯片工厂。”dr。回答道。
“学院呢，钱既然要我出，那它就应该完全属于我了？”
徐宏博摇头说道：“不能完全属于你，按出资比例来，出多少钱，就拥有多少股份，学院建设总金额是1亿港币，香港大学和理工大学各出1000万港币，港府的地是白送的，不算钱，那以前是一座中学，日本人来的时候就把他变成了军营，战争结束后，一直都没有恢复，现在划归我们作为学院的校址。”
“好，剩下的钱由我来出，但是地皮期限30年太短，我要99年，还有，光建立芯片工厂有什么用，其他工厂我也要建。”
在香港买地没有永久拥有一说，一般只有土地的使用权，期限一般只有30年，一些老牌家族手里的地是99年，这跟后世的大陆差不多。凌世哲现在要的就是99年的土地使用权。
dr。想了想说道：“好吧，我跟港督说一说。”
这个问题，暂时告一段落，凌世哲又问道：“既然我要在香港建立芯片工厂，那么我想问一下，现在cmos新工艺生产线设计，走到哪一步了？”
凌世哲话刚一问完，三位老先生一下子变得尴尬起来。
。。。
第四十九章 光刻机（）
“怎么了，看你们的表情，难道碰到什么难题了。“凌世哲看到三位的表情感到非常的奇怪，不至于吧，技术要点全都跟你们点出来了，你们按部就班的还搞不出来？
徐宏博说道：“凌少是这样的，cmos工艺设计我们现在已经完成了60％，现在关键的是我们被当中的电感耦合等离子体刻蚀机的问题上遇到了障碍，我们发现要想解决这个问题非得花上10年时间以上。”
凌世哲明白了，徐宏博所说的电感耦合等离子体刻蚀机，简称icp，是芯片光刻工艺中必不可少的一个关键设备。
这种设备在历史上诞生在90年代初期，icp诞生后就迅速得到普及，在半导体芯片工艺生产中一直都在使用，知道他穿越前一直都还在用。
它是一种高密度的等离子体刻蚀设备，特点是具有低压，简单的气体混合；改进的可重复性，最关键是它对集成电路的刻蚀中对集成电路的集成度得提高上没有任何上限，不管你的集成电路是微米级，还是纳米级，哪怕就是到了埃米级他都一样能够胜任。而其他的刻蚀机就不同了，他对集成度都有上限要求，集成度达到了上限就必须更换，可以说icp刻蚀机未来的发展方向。
正式因为它的这些优点，凌世哲当初交给王海华的资料中才会带有icp刻蚀机的资料，虽然在资料中他点出了理论方向和关键技术要点，但icp刻蚀机技术太过复杂，凭着目前的条件还不能把它给生产出来，这已经超出了目前的技术能力范围。
历史上要到91年才生产出世界第一台icp，又经过了近10年时间才发展成熟。
现在才71年，显然还达不到制备的条件。
凌世哲闭着眼睛想了想，问道：“除了icp刻蚀机以外，还有其他障碍没有？”
“现在问题就卡在这个刻蚀机上，只要刻蚀机的问题解决，那么整个工艺就算大功告成。”王海华说道。
“不错嘛，进度很快嘛，就连分布式投影光刻机的技术问题你们也解决了？”凌世哲说的分布式投影光刻机是光刻机的一种，它不是用来对硅晶圆进行刻蚀的，而是用来曝光的。在芯片个生产过程中，硅晶圆表面要涂抹上一层抗蚀剂，那是一种带有芳香味的具有一点黏度及颜色的液体，光照后能改变抗蚀能力的高分子化合物，也就是俗称的光刻胶。
光刻胶里面含有感光剂，把它涂抹在晶圆片上烘干后，在交给光刻机进行投影曝光，就跟摄影照相一样。
光刻机在最早使用的是接触式光刻机，后来又发展出接近式光刻机，它是由接触式光刻机的改进而来的。
凌世哲的加拿大工厂所使用的光刻机就属于接触式光刻机，它是由日本尼康公司生产的，尼康也是世界上第一个发明光刻机的公司。凌世哲搞的光刻机是后来才出现的，他跳过了接触式、接近式光刻机的范畴，直接进步到分布式光刻机。
它属于投影式曝光技术范畴，每一步只投影一个曝光场，曝光完成后步进到另一个位置进行曝光，依次完成整个晶圆片的曝光。这种光刻机比上面两种光刻机要先进的多，使用分布式光刻机，生产芯片的集成度也要比前两种光刻机高上很多。
“小凌，那个分布式光刻机，我们已经完成了百分之六十的设计，要全部完成设计还要等一段时间，这个机器虽然也是相当的复杂，但我们有信心能够在今年年底以前完成全部的设计，明年二三月份就会制造出第一台样机出来。现在关键的是我们被卡在了icp刻蚀机的技术上，我们这次来就是看小凌你有没有什么解决的办法。”王海华不好意思的说道，本来工艺设计委托给了他们去，技术要点都点出来，只需要按部就班就可以，但是现在两个学校召集了全部的精干力量都完不成，只好来找凌世哲要解决办法，他们三人都感到非常的脸红。
凌世哲却没有怪他们的意思，icp刻蚀机又被称为高能等离子刻蚀机，技术上极端的复杂，而且又多变量，现在不要说在香港，哪怕就是拿到美国，凭着目前的技术条件也搞不出来，哪怕就是10年以后搞出来，都比历史上整整提前了10年，他们能够做到这一步都已经很不容易了。
现在cmos工艺设计已经进行得差不多要完成了，现在卡在刻蚀机上面，迟迟都不能够完成，难道要真的等10年？凌世哲否定了等10年的想法，可是不等又有什么办法来迅速的攻克它呢？徐宏博已经说的很清楚了，现在不是技术上我们不能够解决，而是现在的科学技术条件还达不到它的要求，只能够等到技术条件达到了要求才能完成，这是急也急不来的。现在可不是后世，科技发展达到了极高的程度，现在这个时代的科技比起后世来说，太落后了。
如果不想等待，那就只有一个办法，重新找一个不那么复杂的刻蚀机来暂时的替代它，等到icp刻蚀机完成以后，在把它换回来。可一时之间凌世哲又去那里找可以替换的刻蚀机呢？
想了半天凌世哲也没想出办法来，抬头看到三位老教授一直在看着他，一时之间有点不好意思，说道：“不好意思三位教授，我走神了，我一直在想那种刻蚀机不那么复杂，能够先暂时得用着来，等到icp技术成熟以后，在使用它。”
“那里，那里，我们没有完成凌少设计任务，还要来打扰凌少，是我们不好意思才对。”三位老先生急忙说道，徐宏博客套了两句后，不确定的问道：“刚才听凌少的意思，难道你还有好几套其他的光刻机的技术解决方案吗？”
凌世哲下意识的点了点头，根本没有认识到这样有多么的不妥。
王海华和dr。全呆了，好几套光刻机的技术方案，这小子是个**吗？光是你那个电耦合等离子体光刻机就已经让我们伤透了脑筋，现在你小子还有好几套其他光刻机技术解决方案，你还要不要人活了！三人感觉自己的几十年都活得狗身上了，看看人家，这人比人得死，货比货得扔。
凌世哲看到三人望着他，眼里充满幽怨眼神，反应过来，刚才自己表现打击了他们，事已至此他也不好说什么，想了想，说道：“这样吧三位教授，我一时想不出什么办法，给我几天时间好好想想好吗？”
三人互相看了看，点了点头，dr。说道：“好得凌少，今天我们来这的目的已经说完了，我们也改告辞了，再见。”
三人站了起来，凌世哲下楼把他们送到了公司门口，等三人上车离去后，凌世哲才转身。
。。。
第五十章 离子注入机（）
“世哲！”凌世哲听到有人喊他，会头一看是李莉，她正站在停在公路边的一辆汽车旁。
看到李莉他突然不知道该怎么面对他，自从元旦那天夜里跟她吵了一番后，就一直都没有回去，一直住在他新收的二房家里。现在原配找上门来，他感到一阵心虚。
他自认自己不是一个**之徒，甚至还看不起那些到处包**的有钱人，但现在他跟那些有钱就变坏的男人有什么不同，他还有什么资格来鄙夷他们？看见李莉站在不远处的车旁静静的望着他，凌世哲羞愧的地下了头。
李莉慢慢的走到他跟前，说道：“世哲，你什么时候回家，阿姨在家里给你做了你最爱吃的菜，等你回家吃饭呢。”
听到李莉的话，凌世哲更是羞愧的无地自容，看着她的眼睛，说道：“李莉，对不起。”
李莉眼泪瞬间彪了出来，哭了好一会，把眼泪收了，说道：“世哲，记得晚上回家吃饭。”
说完，李莉转身走了，上车前，她又转个身来说道：“世哲，不要把她带回家里来好吗？”
显然她已经知道了赵晓芸的事情，这几天凌世哲都没有回家，天天往邵氏影城旁边的别墅跑，他对自己的行为又没有做任何掩饰，李莉自然很快得就知道了。但是她没有闹，只是哭了一会就接受了这一切，说白了，这个世界始终是男人的世界，香港更是如此，哪怕就是有了婚姻法也是如此，她只能默默的接受。
凌世哲叹了口气，也没有心情回公司了，找了间上档次的茶餐厅坐了一个多小时，看时间差不多了就回了浅水湾的别墅。
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“凌少，请看，这一台就是重新设计的离子注入机的样机，目前表现还不错，它现在还在测试当中，在隔一段时间没什么问题，就可以定型生产了，凌少你在加拿大的工厂很快就会用上了。”
凌世哲自那天回过浅水湾的别墅后，家人之间的矛盾已揭开，一家人重新回到了正常生活，现在的他有了两个女人，他每隔几天都要去新别墅住两日。
今天，他来到离香港大学不远的安布雷拉工艺实验室考察离子注入设备的，前几天就接到克里斯托弗的报告，离子注入设备已经研发成功。负责解说的是理工大学的邱明教授，他是国际离子学的权威，这台高能离子注入机就是在他和克里斯托弗一起搞出的。
离子注入机是晶元加工掺杂中要用到的设备。
掺杂是降可控数量的所需杂质掺入晶元中的特定区域内，从而改变半导体的电学性能。简单来说，就是在晶元中被刻蚀机刻出的还没有成行的晶体管半成品中，掺入一定的杂质，使那些还没有成行的晶体管生成合格的晶体管。
在芯片制程工艺中，芯片原料晶元上面是没有晶体管的，它是经过投影光刻、刻蚀、掺杂后才形成的。
具体来说，就是芯片工厂先把芯片设计师设计的芯片图首先制程芯片电路光刻板，然后在交给光刻机在晶元片上进行投影曝光，晶圆片上涂抹的光刻胶里面含有感光剂，经过显影工序后，晶圆片上就显现出了芯片的电路图；然后在交给刻蚀机把电路图给刻蚀出来。
经过这几道复杂的工序后，晶圆片在高倍显微镜下面就会看到的一个个小小的凸起，这就是晶体管的雏形，但这还不行，这些晶体管还只是一个个形状，还不具备晶体管的任何功能，还要进行掺杂才会变成真正的晶体管。
在晶元中掺入磷或其他五价元素就会形成n型半导体；掺入硼或其他三价元素就会形成p型半导体。
一句话，就是通过掺入不同杂质在晶圆片上形成一个个晶体管。
我们在半导体芯片上那些肉眼看不见，只有在高倍显微镜下才能看到的晶体管就是这么制造出来的。
人们有时候会问，在一个小小的芯片上是怎么做到几万甚至几亿个晶体管得？你们是怎么把晶体管做得那么小的，甚至达到了纳米级，你们又是怎么把那么小的晶体管按上去的？实际上晶体管不是按上去的，都是通过光刻工艺刻蚀并掺杂后形成的。而微米级、纳米级芯片，是指芯片中晶体管之间的间距，不是指晶体管的大小，晶体管之间的间距越小，相同面积的芯片上晶体管的数量就越多。晶体管之间布满了中间线，把各个晶体管给连接起来。
凌世哲接过邱明递过来的数据记录资料，翻开，上面全是离子注入机的各种运行记录，加工产品的品质记录等等，然后又在显微镜下看了下加工的样品，最后又看了看产品的各种检测报告，感到非常的满意，问道：“应该到达商业应用了吧？”
邱明回答道：“如果这台样机在运行上没有问题，结构上在优化一下，就可以进行商业化生产，凌少，以前对半导体的掺杂都是用的扩散法掺杂工艺，而利用离子注入机进行掺杂是60年代才开始的，但技术一直不成熟。我们的这台离子注入机在技术上完全的成熟，机构简单、体积小，保养、维护、维修上简单方便，掺杂品质好，标靶精度高，跟以前的掺杂方式比起来，有太多的优势了。”
“掺杂后的退火你们采用的是什么退火工艺？”
离子注入掺杂技术有个缺点，会对晶格造成损伤，因此在离子注入后需要进行退火处理来消除这些缺陷。
“我们采用的是电子束退火工艺，我们同时也试验过激光退火工艺，但与激光退火相比，电子束退火束班均匀性较好，能量转换效率可达到50％，而激光退火只有1％，比它高多了。”
电子束退火是利用�
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